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國產等離子清洗機的核心結構圍繞等離子體生成與樣品處理需求設計，主要包含以下模塊：①控制單元采用半自動、全自動、PC電腦或液晶觸摸屏控制方式，實現參數調節、設備監...
[查看詳情]技術文章| Technical articles
等離子表面處理機(又稱等離子清洗機)是一種利用等離子體對材料表面進行清洗、活化和涂層處理的設備。其核心原理是通過高壓高頻能量激發氣體(如氧氣、氬氣等)產生低溫等離子體，其中包含高能電子、離子、自由基和中性粒子。這些活性粒子與材料表面發生物理轟擊和化學反應，實現表面改性。等離子表面處理機的核心作用與優勢：表面清洗：去除脫模劑、添加劑、油脂等有機污染物，以及灰塵、氧化物等無機雜質。表面活化：引入含氧極性基團(如羥基、羧基)，提高材料表面能，增強潤濕性和粘附力。表面涂層：通過等離子...
[查看詳情]應用案例
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等都能很好地進行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
改善粘合力-用于光學元件、生物醫學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；
圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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